含Pd纳米线SAW气体传感器氢敏特性分析

顾春虎; 殷晨波; 朱亚军; 朱斌

doi:10.13873/j.1000-9787(2015)03-0034-03

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含Pd纳米线SAW气体传感器氢敏特性分析

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 含Pd纳米线SAW气体传感器氢敏特性分析
- Analysis on hydrogen sensitive characteristics of SAW gas sensor with Pd nanowires
- 传感器与微系统 2015年34卷第3期页码：34-36
- 作者机构：
  
  南京工业大学车辆与工程机械研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（50875122）
- DOI：10.13873/j.1000-9787(2015)03-0034-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2015
- 稿件说明：
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[1]顾春虎,殷晨波,朱亚军,朱斌.含Pd纳米线SAW气体传感器氢敏特性分析[J].传感器与微系统,2015,34(03):34-36.

GU Chun-hu, YIN Chen-bo, ZHU Ya-jun, et al. Analysis on hydrogen sensitive characteristics of SAW gas sensor with Pd nanowires[J]. 2015, 34(3): 34-36.
[1]顾春虎,殷晨波,朱亚军,朱斌.含Pd纳米线SAW气体传感器氢敏特性分析[J].传感器与微系统,2015,34(03):34-36. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2015)03-0034-03.

GU Chun-hu, YIN Chen-bo, ZHU Ya-jun, et al. Analysis on hydrogen sensitive characteristics of SAW gas sensor with Pd nanowires[J]. 2015, 34(3): 34-36. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2015)03-0034-03.

摘要

基于COMSOL Multiphysics软件

建立了含Pd纳米线的声表面波（SAW）传感器三维模型

以YZ铌酸锂为压电基底

叉指电极固定于基底表面

分析了Pd纳米线长度对模型本征频率的影响。对电极施加20V电压得到了不同氢气体积分数下电极上电导纳值和本征频率偏移值。通过磁控溅射制作了Pd薄膜

设计了SAW传感器测试夹具

得到了传感器氢敏特性。将仿真值与实验值进行对比

得到了含Pd纳米线氢敏材料的SAW传感器具有比含面形Pd膜传感器更高的灵敏度。

Abstract

A three-dimensional model of surface acoustic wave（ SAW） sensor with Pd nanowires is developed using COMSOL Multiphysics. The sensor consists of YZ-lithium niobate substrate and interdigital electrodes which is fixed on the surface

relationship between length of nanowires and eigenfrequency is analyzed. A 20V voltage signal is applied on the IDT and the result of admittance and eigenfrequency shift is observed. In order to achieve H2 characteristics of the gas sensor

Pd film is deposited by magnetron sputtering and the test fixture is designed.The gas sensor with Pd nanowires show higher sensitivity than that with Pd film

by comparing the simulation results with experimental results.

关键词

Keywords

references

基于恒流配气方式的微气体传感器测试系统研究 [J]. 朱斌,殷晨波,陶春旻,张子立. 仪器仪表学报 . 2011(12)

一种双通道声表面波器件测试装置 [P]. 殷晨波,顾春虎,朱亚军,朱斌,杨柳. 中国专利:CN103575812A,

基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用[M]. 冶金工业出版社 , 张玉宝, 2007

Layered SAW hydrogen sensor with modified tungsten trioxide selective layer [J] . S.J. Ippolito,S. Kandasamy,K. Kalantar-Zadeh,W. Wlodarski. Sensors & Actuators: B. Chemical . 2004 (1)

In situ measurement of elastic properties of PdH x , PdD x , and PdT x [J] . Journal of Alloys and Compounds . 2003

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