激光刻蚀对磁控溅射ZnO气敏性能的影响

李东明; 黄良宇; 祝小杰; 孙士斌

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)09-0107-05

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激光刻蚀对磁控溅射ZnO气敏性能的影响

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 激光刻蚀对磁控溅射ZnO气敏性能的影响
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2025年第9期页码：107-111
- 作者机构：
  
  上海海事大学物流工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(52172094)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)09-0107-05
  中图分类号： TB383.2;TP212
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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李东明, 黄良宇, 祝小杰, 等. 激光刻蚀对磁控溅射ZnO气敏性能的影响[J]. 传感器与微系统, 2025,(9):107-111.
李东明, 黄良宇, 祝小杰, 等. 激光刻蚀对磁控溅射ZnO气敏性能的影响[J]. 传感器与微系统, 2025,(9):107-111. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)09-0107-05.

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摘要

通过激光刻蚀技术对磁控溅射法制备的氧化锌(ZnO)纳米薄膜进行表面调控，分析不同激光功率对薄膜气敏性能的影响，并确定传感器在最佳性能时的激光功率。结果表明，以0.15 W的激光功率对ZnO薄膜进行刻蚀处理后，传感器在320℃工作温度下对乙醇的灵敏度达到13.6

即便在95%高相对湿度环境下，其灵敏度仍为7.01。此外，该传感器具有良好的选择性、重复性、长期稳定性、抗湿性以及快速的响应/恢复时间。

Abstract

关键词

Keywords

references

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