压电MEMS水听器本底噪声测试方法研究

陈丽洁; 葛宣佐; 张强; 王大成; 冯秀娟; 徐兴烨

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)09-0046-04

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压电MEMS水听器本底噪声测试方法研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 压电MEMS水听器本底噪声测试方法研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2025年第9期页码：46-49
- 作者机构：
  
  1. 哈尔滨工程大学水声技术全国重点实验室
  2. 中国计量科学研究院
  3. 中国电子科技集团公司四十九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(52375529)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)09-0046-04
  中图分类号： TB565.1
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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陈丽洁, 葛宣佐, 张强, 等. 压电MEMS水听器本底噪声测试方法研究[J]. 传感器与微系统, 2025,(9):46-49.
陈丽洁, 葛宣佐, 张强, 等. 压电MEMS水听器本底噪声测试方法研究[J]. 传感器与微系统, 2025,(9):46-49. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)09-0046-04.

DOI：

摘要

本底噪声是评价水听器性能的关键指标，因此对水听器的本底噪声进行测试与评价方法的研究，对水听器的研究具有重要意义。在水听器本底噪声测试中很难消除环境噪声，因此对于极低噪声水听器的本底噪声测试难度较大。本文基于自研本底噪声测试设备，采用绝对测试法对所研制的压电MEMS水听器的本底噪声进行测试。通过对比试验，分析电路、环境、测试方法等因素对压电MEMS水听器本底噪声测试结果的影响，为水听器本底噪声的测试与评价提供经验参考。

Abstract

关键词

Keywords

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陈伟琪,肖定邦,蒲金飞,李凯,毛善国.MEMS振动传感器信号检测电路设计与实现[J].传感器与微系统,2021(07).

陈丽洁,雷亚辉,于洋,杨月,朴胜春,龚李佳.新型氮化铝MEMS声压传感器技术[J].哈尔滨工程大学学报,2021(09).

王强,杨婷婷,薛小斌,臧俊斌,张增星,薛晨阳.基于AlN的压电MEMS超声换能器阵列[J].传感器与微系统,2022(03).

宋金龙,王甫,凤瑞,李厚旭,周铭,许志勇.新型MEMS仿生声敏感芯片设计与晶圆级测试[J].传感器与微系统,2023(12).

胡钰玮,王俊铎,单亚蒙,钱磊,于悦,沈文江.MEMS静电驱动微镜阵列的设计与工艺研究[J].传感器与微系统,2024(10).

吴思佳,陈士涛,陈志亮,王鹏,王文婧.SOI全硅无引线MEMS高温压力传感器的设计[J].传感器与微系统,2025(05).

陈毅,赵涵,袁文俊.水下电声参数测量[M].兵器工业出版社,2017.

殷敬伟.多途信道中Pattern时延差编码水声通信研究[D].哈尔滨工程大学,2007(05).

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