微半球陀螺频率裂解的测试与修调研究

梅思龙; 王亚龙; 苏晓龙; 孙小燕; 胡友旺

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)09-0021-04

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微半球陀螺频率裂解的测试与修调研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 微半球陀螺频率裂解的测试与修调研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2025年第9期页码：21-24+28
- 作者机构：
  
  1. 中南大学极端服役性能精准制造全国重点实验室
  2. 中南大学机电工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(51935013,51875585,51875584)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)09-0021-04
  中图分类号： TH824.3
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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梅思龙, 王亚龙, 苏晓龙, 等. 微半球陀螺频率裂解的测试与修调研究[J]. 传感器与微系统, 2025,(9):21-24+28.
梅思龙, 王亚龙, 苏晓龙, 等. 微半球陀螺频率裂解的测试与修调研究[J]. 传感器与微系统, 2025,(9):21-24+28. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)09-0021-04.

DOI：

摘要

频率裂解是微半球陀螺性能参数的关键指标之一。为了降低微半球陀螺制造误差产生的频率裂解，需要首先测量谐振频率和频率裂解，为此设计了一种微弱电容信号接口电路。接口电路中用电荷放大器实现电容到电压的转化，并对电压信号进行解调和多级滤波，提升信噪比。用接口电路对陀螺开展谐振频率测试和品质因数(Q值)测试，并采用静电修调来减小陀螺的频率裂解。实验结果表明：静电修调降低了微半球陀螺低频模态和高频模态的谐振频率，频率裂解由0.519 Hz降至0.011 Hz。

Abstract

关键词

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潘瑶,曲天良,杨开勇,罗晖.半球谐振陀螺研究现状与发展趋势[J].导航定位与授时,2017(02).

于得川,何汉辉,周鑫,肖定邦,吴学忠.嵌套环式MEMS振动陀螺的静电修调算法[J].传感器与微系统,2017(07).

刘颖,蔡月艳.基于阈值去噪和Elman神经网络的激光陀螺误差补偿[J].传感器与微系统,2023(03).

罗戴钟,金丽,李孟委.纳米光栅三轴MOEMS陀螺设计与仿真分析[J].传感器与微系统,2023(04).

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卢坤,肖定邦,石岩,席翔,吴学忠.微半球谐振陀螺频率修调技术研究进展[J].微纳电子与智能制造,2020(04).

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