微结构加工研究进展

李翔; 陈雪辉; 温信宇; 陈远龙; 刘伟

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)09-0008-04

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微结构加工研究进展

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 微结构加工研究进展
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2025年第9期页码：8-11
- 作者机构：
  
  1. 安徽职业技术大学智能制造学院
  2. 安徽建筑大学机械与电气工程学院高端装备关键摩擦副安徽省重点实验室
  3. 合肥工业大学机械工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  安徽省高等学校科学研究重大项目(2024AH040123);高端装备关键摩擦副安徽省重点实验室项目(LCFP2406);国家自然科学基金资助项目(51875152);安徽建筑大学自然科学基金资助项目(JZ202235);安徽省高校杰出青年科研项目(2022AH020025)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)09-0008-04
  中图分类号： TH16
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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李翔, 陈雪辉, 温信宇, 等. 微结构加工研究进展[J]. 传感器与微系统, 2025,(9):8-11.
李翔, 陈雪辉, 温信宇, 等. 微结构加工研究进展[J]. 传感器与微系统, 2025,(9):8-11. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)09-0008-04.

DOI：

摘要

微结构越来越多地应用在轻工、冶金、航空航天、生物医疗和国防等领域。含微结构特征的零件通常较复杂且常采用难切削材料，加工较为困难，其加工技术受到了国内外学者的广泛关注。本文主要概述了机械加工、电火花加工、激光加工和电化学加工等常用的微结构加工技术的原理、研究进展及优缺点；综述了工艺参数等对微结构形貌特征、组织性能的影响；探讨了加工技术中需要解决的理论问题和技术瓶颈，并对今后的研究重点进行了展望。

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王阳,傅秀清,王清清,张震.微坑阵列掩膜电解加工试验研究微坑阵列掩膜电解加工试验研究[J].机械科学与技术,2018(06).

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