蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究

姜晓龙; 窦雁巍; 程振乾; 孙志强; 毕佳宇; 邵志强

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)08-0124-04

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蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究

设计与制造 | 更新时间：2025-09-16

- 蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究
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- 传感器与微系统 2025年第8期页码：124-127
- 作者机构：
  
  1. 黑龙江省微纳敏感器件与系统重点实验室黑龙江大学
  2. 中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)08-0124-04
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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姜晓龙, 窦雁巍, 程振乾, 等. 蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究[J]. 传感器与微系统, 2025,(8):124-127.
姜晓龙, 窦雁巍, 程振乾, 等. 蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究[J]. 传感器与微系统, 2025,(8):124-127. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)08-0124-04.

DOI：

摘要

首次提出了一种蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器。利用有限元分析软件设计了蓝宝石MEMS敏感结构，采用湿法腐蚀和直接键合工艺制作了蓝宝石F-P敏感结构。为了快速提取出压力信息，提出了采用基于光强—干涉自补偿解调方法对传感器进行解调。搭建了动态压力测试平台，在室温环境下对传感器执行了10 Hz～1 kHz的动态压力测试和固有频率测试。测试结果表明，在10 Hz～1 kHz频率范围内，传感器的幅值灵敏度相对误差优于±0.5%

传感器的固有频率为430 kHz。

Abstract

关键词

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孙创,王思亮,王鹏,王文婧.基于F-P腔的大孔径MEMS滤波器设计[J].传感器与微系统,2025(04).

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何文涛,李艳华,邹江波,张世名,赵和平,金小锋,杨龙.高温压力传感器的研究现状与发展趋势[J].遥测遥控,2016(06).

Shao Zhiqiang,Wu Yalin,Wang Shuang,Wang Yan,Sun Zhiqiang,Wang Wei,Liu Zhiyuan,Liu Bin.All-sapphire fiber-optic pressure sensors for extreme harsh environments.[J].Optics express,2022.

Shao Zhiqiang,Wu Yalin,Sun Zhiqiang,Wang Wei,Liu Zhiyuan,Zhang Chaozhu,Bi Jiayu,Song Erdong.Excellent repeatability, all-sapphire Fabry Perot optical Pressure sensor based on wet etching and direct bonding for Harsh Environment Applications.[J].Optics express,2021.

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