中国航发控制系统研究所
纸质出版:2025
移动端阅览
陈海卫, 陈仁军, 高维烨. 恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升[J]. 传感器与微系统, 2025,(8):120-123+127.
陈海卫, 陈仁军, 高维烨. 恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升[J]. 传感器与微系统, 2025,(8):120-123+127. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2025)08-0120-04.
DOI:
硅压阻式压力传感器输出受温度变化影响。由于压力传感器实际工作环境的温度变化范围很大,需要采用温度补偿方法来抑制环境温度对传感器特性的影响。当前所采用的模拟式压力传感器调试工艺较为依赖人工操作,费时费力。本文给出了一种针对恒压激励下的硅压阻式压力传感器桌面模型补偿调试工艺,通过搭建补偿电路、元器件等桌面模型,以测试数据结合桌面模型计算的调试工艺提高压力传感器模拟补偿过程中的调试效率及合格率。1 000余支压力传感器的验证结果表明,基于桌面模型计算的调试一次合格率大于99%、调试效率提升400%以上,过程能力指数(CPK)为1.77
具备较强的工程化推广前景。
周聪,闫晋平,郭建成,游雨霖,杨振川,高成臣.快速上电响应的硅压阻式压力传感器温漂补偿[J].传感器与微系统,2025(04).
杜成权,艾军,许明洋,魏壮壮,陈宇昕.高精度MEMS差压传感器芯片的研究[J].传感器与微系统,2024(12).
杨立军,陈梦豪.无引线封装的SOI高温压力传感器设计[J].传感器与微系统,2024(11).
罗钰,翁存程,蒋丽钦.惠斯通电桥实验的分析[J].大学物理实验,2023(02).
石文兵,葛斌,苏树智.基于深度信念网络的硅压阻式压力传感器高精度温度补偿模型的研究[J].传感技术学报,2021(07).
田青林,陈红亮,陈洪敏,李粮,闫文吉.一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法[J].中国测试,2021(01).
聂绍忠.硅压阻式压力传感器的高精度补偿算法及其实现[J].自动化仪表,2018(06).
龙军,关威,汪旭东,陈君.基于岭回归的压力传感器高精度测量模型研究[J].传感技术学报,2017(03).
华振宇,徐大诚.硅压阻式压力传感器误差修正算法的FPGA实现[J].传感器与微系统,2017(02).
王银.带静压头和恒温控制的MEMS压阻式压力传感器研究[D].南京信息工程大学,2019(04).
0
浏览量
28
下载量
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构