固定翼微型飞行器MEMS姿态控制单元设计

贺子树; 赵锐; 石云波; 李祥宇; 李鹏

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)08-0084-04

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固定翼微型飞行器MEMS姿态控制单元设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-16

- 固定翼微型飞行器MEMS姿态控制单元设计
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- 传感器与微系统 2025年第8期页码：84-87
- 作者机构：
  
  中北大学极限环境光电动态测试技术与仪器全国重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61704158)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)08-0084-04
  中图分类号： V249.1;V448.22
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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贺子树, 赵锐, 石云波, 等. 固定翼微型飞行器MEMS姿态控制单元设计[J]. 传感器与微系统, 2025,(8):84-87.
贺子树, 赵锐, 石云波, 等. 固定翼微型飞行器MEMS姿态控制单元设计[J]. 传感器与微系统, 2025,(8):84-87. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)08-0084-04.

DOI：

摘要

针对微型飞行器(MAV)在姿态控制方面的需求，提出了一种具有静电驱动、翼面偏转和攻角检测能力的MEMS姿态控制单元。该单元通过蠕动电机提供驱动力，通过翼面偏转模块执行翼面的控制，通过角度检测模块对翼面的偏转进行检测。有限元仿真分析结果表明，在32 V驱动电压下，控制单元产生250.8 mN的驱动力，实现±11.03°的双向翼面偏转。

Abstract

关键词

Keywords

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胡钰玮,王俊铎,单亚蒙,钱磊,于悦,沈文江.MEMS静电驱动微镜阵列的设计与工艺研究[J].传感器与微系统,2024(10).

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