基于Ecoflex的柔性电容式压力传感器的制备及特性研究

宋阳阳; 郑浩然; 张胜宾; 王帅龙; 杨盼; 于仕辉

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)08-0067-04

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基于Ecoflex的柔性电容式压力传感器的制备及特性研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-16

- 基于Ecoflex的柔性电容式压力传感器的制备及特性研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2025年第8期页码：67-70
- 作者机构：
  
  1. 洛阳理工学院电气工程与自动化学院
  2. 广东交通职业技术学院汽车与工程机械学院
  3. 东莞理工学院国际微电子学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  广东省基础与应用基础研究基金资助项目(2019A1515110880);广东省普通高校2021年重点领域专项项目(2021ZDZX1128);国家自然基金面上项目(52175525)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)08-0067-04
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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宋阳阳, 郑浩然, 张胜宾, 等. 基于Ecoflex的柔性电容式压力传感器的制备及特性研究[J]. 传感器与微系统, 2025,(8):67-70.
宋阳阳, 郑浩然, 张胜宾, 等. 基于Ecoflex的柔性电容式压力传感器的制备及特性研究[J]. 传感器与微系统, 2025,(8):67-70. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)08-0067-04.

DOI：

摘要

柔性压力传感器因其可穿戴、可拉伸、便携等特点，被广泛用于电子皮肤、运动监测、人机交互等领域。为提高柔性压力传感器的灵敏度，常采用光刻技术、化学刻蚀等制工艺，制备流程复杂，成本较高。结合简单便捷且低成本的紫外臭氧（UVO）紫外辐射技术和模板法，制备了Ecoflex双层褶皱微结构柔性电容式传感器，系统研究介质层微结构对传感器性能的影响。实验结果表明，具有交叉褶皱结构的传感器具有更高的灵敏度(2.34 kPa

-1

)

更快的响应速度（50 ms）

较高的重复稳定性（1 500次）

并成功检测到手指弯曲、肘关节弯曲、脉搏跳动等情况，表明了该传感器在可穿戴电子设备、健康监测、运动监测等领域具有良好的应用前景。

Abstract

关键词

Keywords

references

魏凤龙.新型三自由度压电驱动器及其在光刻投影物镜中的应用研究[D].中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所),2023(02).

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