半导体甲烷传感器阵列构建及其硫化氢识别方法研究

张凯; 曾敏; 杨志

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)07-0054-04

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半导体甲烷传感器阵列构建及其硫化氢识别方法研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 半导体甲烷传感器阵列构建及其硫化氢识别方法研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2025年第7期页码：54-57+62
- 作者机构：
  
  1. 上海交通大学微米纳米加工技术全国重点实验室
  2. 上海交通大学信息与电子工程学院/集成电路学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)07-0054-04
  中图分类号： TQ221.11;TP212
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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张凯, 曾敏, 杨志. 半导体甲烷传感器阵列构建及其硫化氢识别方法研究[J]. 传感器与微系统, 2025,(7):54-57+62.
张凯, 曾敏, 杨志. 半导体甲烷传感器阵列构建及其硫化氢识别方法研究[J]. 传感器与微系统, 2025,(7):54-57+62. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)07-0054-04.

DOI：

摘要

在海洋甲烷（CH

）探测过程中，常常伴有强腐蚀性有害气体硫化氢（H

S）

它能使CH

传感器的敏感材料发生中毒失效。为快速分析CH

气体中是否含有H

S气体，选用两类CH

半导体传感器进行2×3组阵。通过采集电路串接的程控电位器精确调整传感器灵敏度，使传感器阵列的输出具有特征图谱数据，依据特征图谱数据内在的排列关系能快速对CH

和H

S气体进行分类。该传感器阵列输出特征图谱数据对识别单一CH

气体、单一H

S气体、CH

S混合气体的准确率优于99%以上，为快速评估H

S气体对CH

传感器的有害影响提供一种有效的技术方法。

Abstract

关键词

Keywords

references

刘亚东,徐勇,尤立娟,王学峰.金属氧化物半导体气体传感器选择性改进研究进展[J].传感器与微系统,2024(10).

段奇,王宇轩,李栋辉,刘东明,韩丹,桑胜波.针对半导体气体传感器的电信号采集装置[J].传感器与微系统,2024(01).

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