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SOI全硅无引线MEMS高温压力传感器的设计
设计与制造 | 更新时间:2025-09-11
    • SOI全硅无引线MEMS高温压力传感器的设计

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2025年第5期 页码:103-106+111
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2025)05-0103-04    

      中图分类号: TP39;TP212
    • 纸质出版:2025

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  • 吴思佳, 陈士涛, 陈志亮, 等. SOI全硅无引线MEMS高温压力传感器的设计[J]. 传感器与微系统, 2025,(5):103-106+111. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2025)05-0103-04.

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