河南科技大学机电工程学院
纸质出版:2025
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李海吉, 刘永刚, 王亚腾, 等. 环状电极压电作动器的制备与位移检测[J]. 传感器与微系统, 2025,(4):110-113.
李海吉, 刘永刚, 王亚腾, 等. 环状电极压电作动器的制备与位移检测[J]. 传感器与微系统, 2025,(4):110-113. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2025)04-0110-04.
本文提出了一种基于交叉指型排列分布的环状电极压电作动器,分析了其电极结构与驱动原理,采用丝网印刷法对环状电极压电作动器的电极进行制作,并进行极化,完成对待测元件的制备。搭建了位移检测平台,对待测元件的静态性能进行检测。试验结果表明:激励信号波形对直径为?25 mm、厚度为2 mm、电极宽度为0.8 mm、分支电极中心距为1.6 mm的环状电极压电作动器的峰值位移影响不大。当激励频率从0.2 Hz逐渐增加到1.0 Hz时,其位移峰值从1.5μm降低到了1.3μm。激励电压对该元件的峰值位移影响比较大,当激励电压幅值为50 V时,其峰值位移只有0.4μm;当激励电压幅值为200 V时,其峰值位移达到了1.5μm
是相同结构的传统电极压电作动器的2.37倍,该驱动器具有较好的位移性能。
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