低量程抗冲击双轴微加速度计设计

帅清; 石云波; 赵锐; 张志峰

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)04-0092-04

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低量程抗冲击双轴微加速度计设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 低量程抗冲击双轴微加速度计设计
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2025年第4期页码：92-95+100
- 作者机构：
  
  1. 中北大学电子测试技术重点实验室
  2. 山西北方机械制造有限责任公司
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(52175524)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)04-0092-04
  中图分类号： TP212;TJ410.2
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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帅清, 石云波, 赵锐, 等. 低量程抗冲击双轴微加速度计设计[J]. 传感器与微系统, 2025,(4):92-95+100.
帅清, 石云波, 赵锐, 等. 低量程抗冲击双轴微加速度计设计[J]. 传感器与微系统, 2025,(4):92-95+100. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)04-0092-04.

DOI：

摘要

针对常规武器弹药的外弹道信息测量过程中，低量程MEMS加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题，本文提出了一种双轴抗冲击微加速度传感器，可以实现抗过载3×10～4g_n量程50 g_n的指标要求。有限元仿真结果表明：在50 g_n载荷作用下，加速度计敏感单元在Y轴位移为1.476μm

灵敏度为0.730 pF/g_n

在X轴位移为1.476μm

灵敏度为0.382 pF/g_n引入嵌入式双轴叉齿止挡缓冲结构的加速度传感器，在3×10～4g_n过载作用X轴下的梳齿最大位移为3.129μm

Y轴下的梳齿最大位移为3.042μm

均小于最小梳齿间距4μm

有效避免了短路。最大等效应力X轴，Y轴分别为180.880 MPa和85.136 MPa

均远小于硅（Si）的许用应力。

Abstract

关键词

Keywords

references

Xiaofeng Zhao,Ying Wang,Dianzhong Wen.Fabrication and Characteristics of a SOI Three-Axis Acceleration Sensor Based on MEMS Technology[J].Micromachines,2019.

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