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基于旋涂工艺的单层微结构电容式压力传感器
设计与制造 | 更新时间:2025-09-11
    • 基于旋涂工艺的单层微结构电容式压力传感器

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2025年第3期 页码:98-101+106
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2025)03-0098-04    

      中图分类号: TP212
    • 纸质出版:2025

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  • 胡瑞明. 基于旋涂工艺的单层微结构电容式压力传感器[J]. 传感器与微系统, 2025,(3):98-101+106. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2025)03-0098-04.

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