基于敏感电极的多电极阵列传感器电容测量方法

马旭蕾; 田汉民; 刘维龙; 王月荣

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)01-0131-04

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基于敏感电极的多电极阵列传感器电容测量方法

计算与测试 | 更新时间：2025-09-11

- 基于敏感电极的多电极阵列传感器电容测量方法
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2025年第1期页码：131-134+140
- 作者机构：
  
  1. 河北工业大学电子信息工程学院
  2. 天津电子材料与器件实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)01-0131-04
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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马旭蕾, 田汉民, 刘维龙, 等. 基于敏感电极的多电极阵列传感器电容测量方法[J]. 传感器与微系统, 2025,(1):131-134+140.
马旭蕾, 田汉民, 刘维龙, 等. 基于敏感电极的多电极阵列传感器电容测量方法[J]. 传感器与微系统, 2025,(1):131-134+140. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)01-0131-04.

DOI：

摘要

针对电容层析成像系统中平面式电容传感器电极数量增加导致电容测量次数指数性增长的问题，本文提出了一种敏感电极测量法。该方法基于成像过程中电容器的权重系数不同，筛取敏感电极的测量数据，去除低权重的冗余数据。线性反投影成像分析表明，本文提出的仅测相邻电极和对角电极电容的敏感电极法比传统的遍历电极测量法具有更高的电容成像精度，且测量操作及后续运算次数仅为传统方法的35%;电容中加入40 dB噪声后，敏感电极法在缩减65%数据的前提下，相关系数仍保持遍历电极测量85%～90%。因此，本文利用相邻电极和对角电极对图像进行重建的方法显著减少了系统的测量操作及后续计算，并保证了良好的重建效果。

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