应用于标准电容装置的高精度温控系统设计

曾胥; 刘泽; 李俊杰; 曹景铭; 万泽文; 贺晓霞

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)11-0099-04

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应用于标准电容装置的高精度温控系统设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 应用于标准电容装置的高精度温控系统设计
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2024年第11期页码：99-102
- 作者机构：
  
  1. 北京交通大学电子信息工程学院
  2. 清华大学精密仪器系
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2020YFC2200704)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)11-0099-04
  中图分类号： TP212;TP273
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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曾胥, 刘泽, 李俊杰, 等. 应用于标准电容装置的高精度温控系统设计[J]. 传感器与微系统, 2024,(11):99-102.
曾胥, 刘泽, 李俊杰, 等. 应用于标准电容装置的高精度温控系统设计[J]. 传感器与微系统, 2024,(11):99-102. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)11-0099-04.

DOI：

摘要

在引力波探测的相关技术任务中，需要研究设计标准电容装置用于电容位移传感电路的标定测试。为了保证标准电容装置的高精度和高稳定性，设计了配套的大体积高精度温控系统。该系统由保温腔体、温控主机、上位机3个部分组成。温控主机是整套控制系统的核心，包含主控电路板、高精度线性电源、有机发光二极管（OLED）显示屏、通信接口、用户界面（UI）等，系统使用模糊PID控制算法进行温度控制。实验结果表明，温控系统的短期温度控制稳定性（24 h）能够达到±0.002℃。使用该系统给标准电容装置提供环境保障，能够实现10 h下2 aF(10

-21

F)的短期稳定性。

Abstract

关键词

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