基于十字中心定位算法的MEMS真空封装光学检漏方法

张浩威; 侯虎旺; 赵旸; 张鹏

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)10-0146-04

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

基于十字中心定位算法的MEMS真空封装光学检漏方法

计算与测试 | 更新时间：2025-09-11

- 基于十字中心定位算法的MEMS真空封装光学检漏方法
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2024年第10期页码：146-149
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院材料力学行为和设计重点实验室
  2. 中国科学技术大学精密科学仪器安徽普通高校重点实验室
  3. 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(12172348)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)10-0146-04
  中图分类号： TB79;TH-39
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
移动端阅览
张浩威, 侯虎旺, 赵旸, 等. 基于十字中心定位算法的MEMS真空封装光学检漏方法[J]. 传感器与微系统, 2024,(10):146-149.
张浩威, 侯虎旺, 赵旸, 等. 基于十字中心定位算法的MEMS真空封装光学检漏方法[J]. 传感器与微系统, 2024,(10):146-149. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)10-0146-04.

DOI：

摘要

典型的光学检漏方法需要对整幅干涉图甚至多幅干涉图进行图像处理，过程相对复杂。本文结合MEMS器件封装结构的对称特性以及变形分布特征，提出了一种简单、快捷的十字中心定位算法。通过确定干涉图案中心点坐标，获取中心线光强分布，进而拟合得到样品中心线形貌。进一步利用封装结构中心点随真空度变化的相对位移，计算得到漏气率。本文以圆形封装结构为例，证明了该方法的可行性。

Abstract

关键词

Keywords

references

刘福民,张乐民,张树伟,刘宇,王学锋.MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装[J].传感器与微系统,2022(01).

周超,李得天,周晖,张凯锋,曹生珠.MEMS器件真空封装用非蒸散型吸气剂薄膜研究概述[J].材料导报,2019(03).

徐媛媛,时刻,王亚伟,刘景业,朱琼,尚梦园,潘熳颖.相移干涉技术及相移获取方法研究进展[J].激光与光电子学进展,2018(02).

张云胜,冯飞,魏旭东,戈肖鸿,王跃林.光读出红外成像芯片真空封装研究[J].传感器与微系统,2015(02).

王庚林,李飞,王彩义,李宁博.气泡法粗漏检测试验及分析[J].电子产品可靠性与环境试验,2013(S1).

吴登峰,邬玉亭,褚家如.阳极键合工艺进展及其在微传感器中的应用[J].传感器技术,2002(11).

席兰霞,柳继昌.密封性检测方法综述[J].火工品,2002(03).

于起峰.光测条纹图处理中免除噪声的正则化条纹法[J].实验力学,1999(03).

束永生，伍小平.CCD高精度位置检测的计算机模拟[J].实验力学,1995(01).

H.A.C. Tilmans,J. De Coster,P. Helin,V. Cherman,A. Jourdain,P. De Moor,B. Vandevelde,N.P. Pham,J. Zekry,A. Witvrouw,I. De Wolf.MEMS packaging and reliability: An undividable couple[J].Microelectronics Reliability,2012.

Dexiu Huang,Dong Lin,Sheng Liu,Xuefang Wang,Zhiyin Gan.Measurement of Leak Rate for MEMS Vacuum Packaging[J].Journal of Electronic Packaging,2009.

Yoshiharu Morimoto,Motofumi Fujisawa.Fringe pattern analysis by a phase-shifting method using Fourier transform[J].Optical Engineering,1994(11).

Thomas Kreis.Digital holographic interference-phase measurement using the Fourier-transform method[J].JOSA A,1986(6).

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

MEMS器件真空封装模型模拟