光栅干涉式触觉传感器

张春鹏; 褚金奎; 樊元义; 张然

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)10-0105-04

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光栅干涉式触觉传感器

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 光栅干涉式触觉传感器
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- 传感器与微系统 2024年第10期页码：105-108+112
- 作者机构：
  
  大连理工大学机械工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(52175265,52275281);中央高校基本科研业务费项目(DUT21ZD101,DUT21GF308)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)10-0105-04
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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张春鹏, 褚金奎, 樊元义, 等. 光栅干涉式触觉传感器[J]. 传感器与微系统, 2024,(10):105-108+112.
张春鹏, 褚金奎, 樊元义, 等. 光栅干涉式触觉传感器[J]. 传感器与微系统, 2024,(10):105-108+112. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)10-0105-04.

DOI：

摘要

因光学式触觉传感器有着灵敏度高、抗干扰能力强等优点，提出了一种基于亚波长金属光栅干涉的触觉传感器。首先，基于等效介质理论和薄膜干涉理论对触觉传感器的传感原理进行介绍；接着，通过纳米压印工艺和真空蒸发镀膜工艺在柔性中间聚合物片材(IPS)表面制作亚波长金属光栅，通过光刻工艺用SU—8光刻胶将亚波长金属光栅以固定间距平行离面放置，使其透射光强随接触力的施加而改变；最后，对光栅触觉传感器进行一系列力加载实验，实验结果表明：该触觉传感器的平均力分辨率可达到0.000 3 N/Gray以上，平均测量误差为6.3%。通过小型化设计，可以用于机械手上实现触觉传感功能。

Abstract

关键词

Keywords

references

Pohtongkam Somchai,Srinonchat Jakkree.Tactile Object Recognition for Humanoid Robots Using New Designed Piezoresistive Tactile Sensor and DCNN[J].Sensors,2021.

Zhu Yin,Hao Jiawen,Li Weihua,Yang Jie,Dong Erbao.A new robotic tactile sensor with bio-mimetic structural colour inspired by Morpho butterflies.[J].Bioinspiration & biomimetics,2019.

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