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基于单晶硅的压阻效应压力传感器低气压输出异常分析
研究与探讨 | 更新时间:2025-09-11
    • 基于单晶硅的压阻效应压力传感器低气压输出异常分析

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2024年第10期 页码:15-18
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2024)10-0015-04    

      中图分类号: TP212
    • 纸质出版:2024

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  • 刘宝伟, 王振廷, 宁金明, 等. 基于单晶硅的压阻效应压力传感器低气压输出异常分析[J]. 传感器与微系统, 2024,(10):15-18. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2024)10-0015-04.

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