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类金刚石碳膜导电材料设计与制备工艺技术研究
研究与探讨 | 更新时间:2025-09-11
    • 类金刚石碳膜导电材料设计与制备工艺技术研究

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2024年第8期 页码:60-63
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2024)08-0060-04    

      中图分类号: TP212
    • 纸质出版:2024

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  • 李涛, 胡宇涵, 徐冬, 等. 类金刚石碳膜导电材料设计与制备工艺技术研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(8):60-63. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2024)08-0060-04.

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