基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备

李爽; 程文华; 梁晓瑞; 谭秋林

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)05-0113-03

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基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2024年第5期页码：113-115+120
- 作者机构：
  
  1. 中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室
  2. 中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室
  3. 太原科技大学电子信息工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金航天联合重点基金资助项目(U1837209)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)05-0113-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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李爽, 程文华, 梁晓瑞, 等. 基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备[J]. 传感器与微系统, 2024,(5):113-115+120.
李爽, 程文华, 梁晓瑞, 等. 基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备[J]. 传感器与微系统, 2024,(5):113-115+120. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)05-0113-03.

DOI：

摘要

随着航空航天、原子能技术、汽车电子、冶金与石油化工等工业的迅猛发展，迫切需要能够在高温环境下对振动、压力及噪声等进行监测的传感器。本文设计并制备了基于硅酸镓镧（LGS）压电单晶材料的压电加速度传感器。实验结果表明，该传感器的谐振频率约为3 kHz

在常温～800℃

工作频率为80～1 000 Hz范围内，传感器的电荷灵敏度保持稳定，平均值为0.081 pC/g_n。该传感器能在800℃高温下稳定工作。

Abstract

关键词

Keywords

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