基于热电堆的微型热流传感器制备及性能研究

李晓芬; 张香香; 谭秋林

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)05-0031-04

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基于热电堆的微型热流传感器制备及性能研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 基于热电堆的微型热流传感器制备及性能研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2024年第5期页码：31-34
- 作者机构：
  
  1. 中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室
  2. 中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)05-0031-04
  中图分类号： V233;TP212
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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李晓芬, 张香香, 谭秋林. 基于热电堆的微型热流传感器制备及性能研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(5):31-34.
李晓芬, 张香香, 谭秋林. 基于热电堆的微型热流传感器制备及性能研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(5):31-34. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)05-0031-04.

DOI：

摘要

航空发动机内部温度和热辐射的不均匀分布可能导致叶片表面出现热点，引起叶尖等区域的材料损坏。因此，监测单位时间内通过叶片表面的热量十分重要。热电堆型热流传感器以其测量范围广、稳定性好、精度高等优点，成为监测高温环境热流参数的常用方法。本文采用丝网印刷和高温烧结工艺，在10 mm×10 mm×1 mm的99%Al

陶瓷基片上制备了Pt-Rh10/Pt热电堆型热流传感器，并搭建了热流实验平台对传感器进行测试。结果表明，该热流传感器在1 019.4℃的高温环境下，所测热流密度为179.67 kW/m

输出电压为0.462 3 mV。经过3次热循环测试可知，该热流传感器的重复性偏差小于5%

具有较好的重复性。

Abstract

关键词

Keywords

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