北京航天控制仪器研究所
纸质出版:2024
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高乃坤, 刘福民, 徐杰, 等. 工程化硅微谐振加速度计设计与实现[J]. 传感器与微系统, 2024,(4):112-114+118.
高乃坤, 刘福民, 徐杰, 等. 工程化硅微谐振加速度计设计与实现[J]. 传感器与微系统, 2024,(4):112-114+118. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2024)04-0112-03.
DOI:
提出一种基于MEMS敏感结构芯片与专用集成电路芯片(ASIC)集成封装的硅微谐振加速度计设计方案。敏感结构主要包括敏感质量块、一级微杠杆放大结构和双端固定音叉谐振器。整体结构采用左右差分对称布局,实现器件高灵敏度。敏感结构芯片基于全硅晶圆级封装工艺,实现敏感结构芯片的低应力与批量化加工。敏感结构芯片与ASIC芯片采用堆叠式集成封装,实现器件的小型化与低功耗。所设计加速度计的谐振频率约为18.2 kHz
量程为±20 g_n
标度因数为216 Hz/g_n
标度因数稳定性为5×10
-6
零偏稳定性为6.5μg_n(1σ
10 s)。所提方案实现了器件的小型化、低功耗与集成化。
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