集成式陶瓷压力传感器结构设计与测试分析

李鑫标; 夏如艇; 林树森; 杨礼康; 徐晨

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)04-0075-04

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集成式陶瓷压力传感器结构设计与测试分析

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 集成式陶瓷压力传感器结构设计与测试分析
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2024年第4期页码：75-78
- 作者机构：
  
  1. 浙江科技学院机械与能源工程学院
  2. 台州学院航空工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(51905364);台州市科技计划资助项目(20ny19)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)04-0075-04
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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李鑫标, 夏如艇, 林树森, 等. 集成式陶瓷压力传感器结构设计与测试分析[J]. 传感器与微系统, 2024,(4):75-78.
李鑫标, 夏如艇, 林树森, 等. 集成式陶瓷压力传感器结构设计与测试分析[J]. 传感器与微系统, 2024,(4):75-78. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)04-0075-04.

DOI：

摘要

本文设计并制备了一种集成式陶瓷压力传感器。首先基于电容式压力传感器工作原理和薄板变形理论，对传感器敏感结构进行建模和仿真分析。将设计的信号调理电路集成在印刷电路板(PCB)上，PCB通过导电结构PIN针与敏感结构紧贴在一起，采用压缩弹簧实现针脚连接。同时设计了传感器敏感结构工艺制备流程，并对封装后的传感器进行研究分析。测试结果表明：传感器在0～1.4 MPa量程内，常温下其灵敏度达到0.571 V/V/MPa

非线性度小于0.325%FS

在-40～150℃温度范围内，整体测量误差精度为±0.245%RH

传感器在振动和冲击的环境中工作稳定。

Abstract

关键词

Keywords

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