微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究

张洪泉; 邢会明; 王辉; 单国柱; 罗嘉琪

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)04-0064-04

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微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2024年第4期页码：64-67
- 作者机构：
  
  1. 哈尔滨工程大学智能科学与工程学院
  2. 哈尔滨工程大学三亚南海创新发展基地
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  黑龙江省重点研发计划资助项目(GA21A301);海南省自然科学基金联合资助项目(2021JJLH0019);国家自然科学基金资助项目(62071138);哈尔滨市科技计划自筹经费资助项目(2022ZCZJCG003);黑龙江省重大科技成果转化项目(CG23006)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)04-0064-04
  中图分类号： TH811
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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张洪泉, 邢会明, 王辉, 等. 微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(4):64-67.
张洪泉, 邢会明, 王辉, 等. 微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(4):64-67. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)04-0064-04.

DOI：

摘要

针对燃气轮机温度检测高温热电偶存在的热容大、响应时间慢、无法表贴安装等诸多技术问题，利用陶瓷微纳加工技术制造出50μm厚度的柔性芯片基底，经薄膜工艺形成冗余结构的铂铑10-铂热电偶电极，通过“三明治”封装形成全陶瓷密封型热电偶，开展微纳陶瓷基高温热电偶性能与功能试验。试验表明，所设计的微纳陶瓷基高温热电偶具有快响应特点，能实现在圆滑表面进行柔性表贴安装，在0～1 000℃温度范围内，热电偶输出灵敏度与二级标准铂铑10-铂热电偶比对，偏差在±0.3%

90%响应时间优于0.1 s

热电偶具有良好的高温稳定性。

Abstract

关键词

Keywords

references

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