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基于光偏转原理的AFM光电检测系统设计
设计与制造 | 更新时间:2025-09-11
    • 基于光偏转原理的AFM光电检测系统设计

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2024年第3期 页码:76-79
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2024)03-0076-04    

      中图分类号: TN29;TP212
    • 纸质出版:2024

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  • 王旭东, 温阳, 王慧云, 等. 基于光偏转原理的AFM光电检测系统设计[J]. 传感器与微系统, 2024,(3):76-79. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2024)03-0076-04.

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