基于Si纳米膜的差分结构矢量水听器工艺研究

苗晋威; 杨沙沙; 齐秉楠; 曹文萍; 史一明; 王任鑫

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)03-0060-03

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基于Si纳米膜的差分结构矢量水听器工艺研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 基于Si纳米膜的差分结构矢量水听器工艺研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2024年第3期页码：60-62+75
- 作者机构：
  
  1. 中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室
  2. 声纳技术重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(51875535,61927807)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)03-0060-03
  中图分类号： TB565.1
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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苗晋威, 杨沙沙, 齐秉楠, 等. 基于Si纳米膜的差分结构矢量水听器工艺研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(3):60-62+75.
苗晋威, 杨沙沙, 齐秉楠, 等. 基于Si纳米膜的差分结构矢量水听器工艺研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(3):60-62+75. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)03-0060-03.

DOI：

摘要

通过关键工艺步骤，将硅(Si)纳米膜制备在差分结构水听器上作为压敏电阻，利用Si纳米膜的巨压阻效应来提高水听器的灵敏度；利用深Si刻蚀，将Si柱与芯片一体化，减少了差分结构的对准误差，同时抑制海洋洋流带来的振动干扰。设计了相对应的光刻掩模版和整套工艺流程，通过MEMS工艺，成功加工出Si纳米膜作为压敏电阻，实现矢量水听器芯片与Si柱集成化。对制备好的芯片进行观测与测试，使用激光共聚焦显微镜和扫描电子显微镜(SEM)设备观察芯片形貌良好，尺寸与设计基本一致；通过半导体分析仪测量得到压敏电阻器的阻值为15.3×10～4Ω

线性度良好，符合矢量水听器功能需求。

Abstract

关键词

Keywords

references

苗晋威,杨沙沙,齐秉楠,乔庆宇,刘国昌,王任鑫.纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法[J].传感器与微系统,2022(03).

齐秉楠,苗晋威,史一明,任子明,王任鑫.基于MEMS的压阻式一体化矢量水听器[J].微纳电子技术,2021(08).

史一明,齐秉楠,白建新,宋金龙,王卫东,王任鑫.一种面向MEMS矢量水听器的硅纳米线制备方法[J].中北大学学报(自然科学版),2020(05).

陈丽洁,张鹏,徐兴烨,王福江.矢量水听器综述[J].传感器与微系统,2006(06).

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