基于双螺旋式加热器的柔性MEMS流量传感器

王琪; 冯建国; 马渊明; 陈兴; 许高斌

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)02-0041-04

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基于双螺旋式加热器的柔性MEMS流量传感器

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 基于双螺旋式加热器的柔性MEMS流量传感器
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2024年第2期页码：41-44
- 作者机构：
  
  合肥工业大学安徽省微电子机械系统工程技术研究中心微电子学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008901);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(JZ2021HGQA0254);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(JZ2021HGTA0147);安徽省发改委研发创新资助项目(JZ2021AFKJ0050)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)02-0041-04
  中图分类号： TH-39;TP212
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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王琪, 冯建国, 马渊明, 等. 基于双螺旋式加热器的柔性MEMS流量传感器[J]. 传感器与微系统, 2024,(2):41-44.
王琪, 冯建国, 马渊明, 等. 基于双螺旋式加热器的柔性MEMS流量传感器[J]. 传感器与微系统, 2024,(2):41-44. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)02-0041-04.

DOI：

摘要

针对传统流量传感器的量程限制，提出了一种基于双螺旋结构加热器的柔性基底微机电系统（MEMS）热式流量传感器。在基底上打出均匀通孔阵列以降低热传导损耗，两对测温电阻对称分布在加热器两侧，以获得较宽量程，在微小流量与大流量下均表现出较高灵敏度。采用基于惠斯通电桥的检测电路实现输出电压的测量，同时保持加热器与环境温度恒定温差200 K

对电阻自热进行补偿。传感器工作温度-100～400℃

量程为0～60 m/s;低流速下灵敏度约为12.75 V/(m·s

-1

)

分辨率可达0.001 mm/s

高流速下灵敏度约为1.4 mV/(m·s

-1

)

功耗低至1.3 mW。

Abstract

关键词

Keywords

references

A. Kato,Y. Hasegawa,K. Taniguchi,M. Shikida.Monolithic integration of MEMS thermal flow sensor and its driving circuit onto flexible Cu on polyimide film[J].Microsystem Technologies,2020.

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