高灵敏度SiC动态高温压力传感器仿真研究

李强; 梁庭; 雷程; 李永伟; 周行健

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)01-0062-03

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高灵敏度SiC动态高温压力传感器仿真研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 高灵敏度SiC动态高温压力传感器仿真研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2024年第1期页码：62-64+68
- 作者机构：
  
  1. 中北大学动态测试技术国家重点实验室
  2. 太原工业学院自动化系
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  山西省重点研发计划资助项目(201903D121123);中央引导地方科技发展资金资助项目(YDZX20201400001664);山西省自然科学基金资助项目(201801D221203)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)01-0062-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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李强, 梁庭, 雷程, 等. 高灵敏度SiC动态高温压力传感器仿真研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(1):62-64+68.
李强, 梁庭, 雷程, 等. 高灵敏度SiC动态高温压力传感器仿真研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(1):62-64+68. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)01-0062-03.

DOI：

摘要

为了提高碳化硅(SiC)动态高温压力传感器的灵敏度，采用p型SiC材料，同时对传感器的敏感单元的不同结构——方膜和圆膜，利用Ansys软件进行了静力学仿真与分析，并完成了敏感芯片的尺寸设计。仿真结果表明：优化后的传感器输出灵敏度为14.2μV/(V·kPa)。在100～600℃内非线性误差小于1.53%。动态仿真表明：传感器的固有频率为481 kHz

传感器可以在160 kHz高频环境中安全工作，该结果为进一步制备SiC高温压力传感器奠定了理论支撑。

Abstract

关键词

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叶军红.压力传感器在汽车行业的应用现状[J].汽车电器,2020(08).

李峰,王洪博.风洞分布测压试验校准技术发展现状[J].计测技术,2020(01).

杨娇燕,梁庭,李鑫,林立娜,李奇思,赵丹,雷程,熊继军.压阻式压力传感器灵敏度的仿真方法[J].仪表技术与传感器,2019(02).

何文涛,李艳华,邹江波,张世名,赵和平,金小锋,杨龙.高温压力传感器的研究现状与发展趋势[J].遥测遥控,2016(06).

尤文斌,马铁华,丁永红,崔敏.火箭分离端面压力测试技术研究及应用[J].固体火箭技术,2014(02).

Yongwei Li,Ting Liang,Cheng Lei,Yingping Hong,Wangwang Li,Zhiqiang Li,Abdul Ghaffar,Qiang Li,Jijun Xiong.Quantitative Analysis of Piezoresistive Characteristic Based on a P-type 4H-SiC Epitaxial Layer[J].Micromachines,2019.

T Akiyama,D Briand,N F de Rooij.Design-dependent gauge factors of highly doped n-type 4H-SiC piezoresistors[J].Journal of Micromechanics and Microengineering,2012.

T.M. Breunig,S.R. Stock,A. Guvenilir,J.C. Elliott,P. Anderson,G.R. Davis.Damage in aligned-fibre SiC/Al quantified using a laboratory X-ray tomographic microscope[J].Composites,1993(3).

(美) 尼曼 (Neamen,D.A.) , 著.半导体物理与器件[M].电子工业出版社,2010.

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