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李萌萌, 李兆营, 黄添萍. 共蒸发法制备金锡共晶焊料环及其性能研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(1):59-61.
李萌萌, 李兆营, 黄添萍. 共蒸发法制备金锡共晶焊料环及其性能研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(1):59-61. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2024)01-0059-03.
DOI:
采用电子束共蒸发法制备了金锡共晶(Au
80
Sn
20
)焊料环,与非制冷红外探测器芯片进行气密性封装。通过SEM、AFM、X-ray、振荡测试以及测漏氦等方式验证了封装后芯片的气密性和可靠性。结果表明:键合后焊料环无明显缺陷,仅存在轻微溢料现象;经过振荡测试,溢料无脱落、无位移,且芯片密封性能可达到1×10
-3
Pa/(cm
3
·s)
符合探测器的气密性要求。
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王强,张有刚.非制冷红外焦平面探测器封装技术研究进展[J].红外技术,2018(09).
史超.半导体封装工艺中金锡共晶焊料性质和制备方法研究[J].世界有色金属,2018(04).
姚立华,吴礼群,蔡昱,徐波,胡进,张巍.采用金锡合金的气密性封装工艺研究[J].电子工艺技术,2010(05).
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