带有阶梯沟槽结构音叉型石英晶体谐振器设计研究

杨梅; 李辉; 邓慧; 李强林

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)01-0033-03

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带有阶梯沟槽结构音叉型石英晶体谐振器设计研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 带有阶梯沟槽结构音叉型石英晶体谐振器设计研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2024年第1期页码：33-35
- 作者机构：
  
  1. 成都工业学院宜宾校区
  2. 成都泰美克晶体技术有限公司
  3. 成都工业学院电子工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  四川省科技厅重点研发资助项目(2022YFS0504)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)01-0033-03
  中图分类号： TN751.2
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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杨梅, 李辉, 邓慧, 等. 带有阶梯沟槽结构音叉型石英晶体谐振器设计研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(1):33-35.
杨梅, 李辉, 邓慧, 等. 带有阶梯沟槽结构音叉型石英晶体谐振器设计研究[J]. 传感器与微系统, 2024,(1):33-35. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)01-0033-03.

DOI：

摘要

为了解决表面贴装器件(SMD)型压电石英音叉晶体的振动阻抗过大的问题，提出了一种带有阶梯沟槽结构的Z切压电石英音叉晶体谐振器。首先，从振动原理上结合压电石英晶体各向异性材料因腐蚀工艺导致结构的不对称性解释阻抗过大的机理；然后，提出一种新结构弥补因腐蚀工艺带来音叉晶体结构不对称的问题。基于有限元仿真计算出音叉晶体谐振器的振动分布情况，通过仿真分析发现新型结构有效降低音叉双叉振梁面内弯曲的不对称性，改善了音叉晶体谐振器的振动特性，降低了器件的阻抗。

Abstract

关键词

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references

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