MEMS三轴加速度计误差标定与补偿方法研究

刘有彬; 闫欢; 彭根斋; 白雪; 杨勤

doi:10.13873/J.1000-9787(2023)11-0058-04

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MEMS三轴加速度计误差标定与补偿方法研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- MEMS三轴加速度计误差标定与补偿方法研究
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- 传感器与微系统 2023年第11期页码：58-61+65
- 作者机构：
  
  中国电子科技集团公司第九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)11-0058-04
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2023
- 稿件说明：
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刘有彬, 闫欢, 彭根斋, 等. MEMS三轴加速度计误差标定与补偿方法研究[J]. 传感器与微系统, 2023,(11):58-61+65.
刘有彬, 闫欢, 彭根斋, 等. MEMS三轴加速度计误差标定与补偿方法研究[J]. 传感器与微系统, 2023,(11):58-61+65. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2023)11-0058-04.

DOI：

摘要

为了提高微机电系统(MEMS)三轴加速度计的测量精度，建立了MEMS三轴加速度计卡尔曼滤波模型，根据MEMS三轴加速度计的输出误差模型，推导了基于六位置法的误差补偿数学模型，并给出了数学模型中补偿参数的解算方法。最后基于自主研发的电子罗盘进行了实验验证，实验结果表明：经过卡尔曼滤波后，MEMS三轴加速度计输出噪声减小了74%;经过六位置法标定后，MEMS三轴加速度计的测量精度提升了1个数量级，解算得到的倾斜角精度由5.9°RMS提高到0.3°RMS。

Abstract

关键词

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