MEMS惯性传感器高低温补偿方法

张和铭; 秦刚; 梁渊; 马卓; 张晓天; 陈笑颖

doi:10.13873/J.1000-9787(2023)09-0153-04

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MEMS惯性传感器高低温补偿方法

计算与测试 | 更新时间：2025-09-11

- MEMS惯性传感器高低温补偿方法
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- 传感器与微系统 2023年第9期页码：153-156
- 作者机构：
  
  西安工业大学光电工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)09-0153-04
  中图分类号： TH-39;TP212
- 纸质出版：2023
- 稿件说明：
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张和铭, 秦刚, 梁渊, 等. MEMS惯性传感器高低温补偿方法[J]. 传感器与微系统, 2023,(9):153-156.
张和铭, 秦刚, 梁渊, 等. MEMS惯性传感器高低温补偿方法[J]. 传感器与微系统, 2023,(9):153-156. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2023)09-0153-04.

DOI：

摘要

微机电系统(MEMS)惯性传感器在生产过程中需要进行高低温测试和全温度范围的数据补偿，使其性能保持稳定。以往的传感器补偿设备抗干扰能力弱，补偿模型适应性差，无法满足传感器批量生产的需要。通过研究MEMS惯性传感器补偿流程，设计了一种针对某型MEMS惯性传感器的高低温补偿系统，实现传感器的自动测试和补偿。通过引入相关算法实现了基于误差辨识的参数优化最小二乘支持向量机(LS-SVM)算法。算法实现了对误差和干扰的自动识别。实验结果表明：所提方法能够提高MEMS惯性传感器批量化高低温补偿的精度。

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关键词

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references

一种用于MEMS陀螺仪的隔振平台及其结构设计[J]. 许高斌;杨海洋;王超超;马渊明;陈兴.合肥工业大学学报(自然科学版),2021(08)

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基于改进PSO优化LSSVM的MEMS陀螺随机漂移预测[J]. 孙田川;刘洁瑜;康莉;杨浩天.传感技术学报,2016(06)

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MEMS陀螺零偏在线自校准方法研究[D]. 顾昊宇.中国工程物理研究院,2020(01)

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