三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究

李海生; 许高斌; 冯建国; 马渊明

doi:10.13873/J.1000-9787(2023)04-0043-04

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三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究
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- 传感器与微系统 2023年第4期页码：43-46
- 作者机构：
  
  合肥工业大学微电子学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)04-0043-04
  中图分类号： TP212;TH744.1
- 纸质出版：2023
- 稿件说明：
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李海生, 许高斌, 冯建国, 等. 三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究[J]. 传感器与微系统, 2023,(4):43-46.
李海生, 许高斌, 冯建国, 等. 三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究[J]. 传感器与微系统, 2023,(4):43-46. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2023)04-0043-04.

DOI：

摘要

设计并研究了一种三端梁结构的微机电系统(MEMS)红外光源，用于非色散红外吸收光谱气体传感器。MEMS红外光源以硅(Si)为基底，铂/钛(Pt/Ti)层为加热单元和传感单元，采用圆环状电阻结构实现了低功耗和良好的温度均匀性。光源采用三梁固支悬浮薄膜结构，有效地降低了辐射区热量向基底的传导。红外光源采用预释放的工艺方法，解决了Si基释放不完全导致的热传导过大的问题。在玻璃衬底淀积铜作为反射层，并与Si结构层进行阳极键合，使红外光有效地向正面发射并通过悬膜射出，提高红外光利用率。设计的MEMS红外光源结构简单，具有良好的可靠性，易于规模化制造。

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关键词

Keywords

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MEMS红外光源的高精度控温电路设计[J]. 李宝玲;余隽;姜云龙;李中洲;唐祯安.仪表技术与传感器,2020(08)

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