1. 河南理工大学物理与电子信息学院
2. 河南理工大学安全科学与工程学院
纸质出版:2023
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刘文强, 吴鹏举, 王瑗瑗, 等. 射频磁控溅射制备二氧化锡薄膜的气敏特性[J]. 传感器与微系统, 2023,(3):53-56.
刘文强, 吴鹏举, 王瑗瑗, 等. 射频磁控溅射制备二氧化锡薄膜的气敏特性[J]. 传感器与微系统, 2023,(3):53-56. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2023)03-0053-04.
采用射频(RF)磁控溅射法在P型硅衬底上制备了具有良好电学特性和气敏特性的二氧化锡(SnO
2
)纳米薄膜。在溅射气压分别为0.1
1.0
2.5 Pa的条件下,制备了不同表面形貌的SnO
2
薄膜,详细分析了溅射气压对SnO
2
薄膜表面生长、PN结的伏安特性和气敏特性的影响。实验结果表明:在溅射气压为2.5 Pa时,PN结结晶质量最好;在室温条件下,溅射气压为2.5 Pa时,SnO
2
纳米薄膜在16×10
-3
的乙醇环境中的电流灵敏度可达246%。
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