压电式MEMS驱动器的稳健设计研究

刘德祥; 谭晓兰; 周文博; 班翔; 王月钦

doi:10.13873/J.1000-9787(2023)02-0053-03

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压电式MEMS驱动器的稳健设计研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 压电式MEMS驱动器的稳健设计研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2023年第2期页码：53-55+63
- 作者机构：
  
  北方工业大学机械与材料工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(51375017)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)02-0053-03
  中图分类号： TH-39;TH122
- 纸质出版：2023
- 稿件说明：
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刘德祥, 谭晓兰, 周文博, 等. 压电式MEMS驱动器的稳健设计研究[J]. 传感器与微系统, 2023,(2):53-55+63.
刘德祥, 谭晓兰, 周文博, 等. 压电式MEMS驱动器的稳健设计研究[J]. 传感器与微系统, 2023,(2):53-55+63. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2023)02-0053-03.

DOI：

摘要

微机电系统(MEMS)驱动器由于其尺寸特性和工艺特点，微小的变差也会对其整体性能的稳定性产生较大影响。将稳健设计理论与方法引入到微驱动器的设计中具有重要的意义。以一种压电式MEMS驱动器为例，分析其结构及原理，对其进行随机模型的稳健设计。通过开发相应算法程序得到稳健设计解。对比原始设计与稳健设计的结果，验证当设计变量及噪声因素存在变差时，稳健设计结果仍可以保持该驱动器的质量稳定性。

Abstract

关键词

Keywords

references

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