基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器

赵珠杰; 梁庭; 王凯; 雷程

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)12-0067-04

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基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2022年第12期页码：67-70
- 作者机构：
  
  1. 中北大学动态测试技术省部共建国家重点实验室
  2. 天津伟加环境科技有限公司
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  山西省自然科学基金资助项目(201801D221203)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)12-0067-04
  中图分类号： TP212.11;TQ127.11;TB383.1
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
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赵珠杰, 梁庭, 王凯, 等. 基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器[J]. 传感器与微系统, 2022,(12):67-70.
赵珠杰, 梁庭, 王凯, 等. 基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器[J]. 传感器与微系统, 2022,(12):67-70. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)12-0067-04.

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摘要

为解决热敏型电阻式温度传感器线性度差、可测温度范围小等问题，介绍了一种以多壁碳纳米管(MWCNT)为温敏材料的电阻型温度传感器。利用微机电系统(MEMS)工艺制备叉指电极作为热敏电阻，在80℃下将MWCNT超声分散溶液涂覆组装在电极上，使用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对MWCNT进行形貌表征，并搭建温度测试平台对传感器进行性能测试。测试结果表明：在40～340℃范围内，传感器的电阻随着温度的上升而下降，传感器的灵敏度约-122.230Ω/℃

线性相关系数为0.995 71;200℃时，传感器响应时间为5 s

恢复时间为4 s。同时，该传感器的迟滞性小，稳定性良好。

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