薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究

刘云东; 王高; 张丛春; 黄漫国

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)11-0035-04

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薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2022年第11期页码：35-38+43
- 作者机构：
  
  1. 中北大学信息与通信工程学院
  2. 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室
  3. 航空工业北京长城航空测控技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)11-0035-04
  中图分类号： TP212;V235.13
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
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刘云东, 王高, 张丛春, 等. 薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(11):35-38+43.
刘云东, 王高, 张丛春, 等. 薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(11):35-38+43. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)11-0035-04.

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摘要

为了快速、准确地反映航空、航天部件瞬变热流的变化，需要热流传感器具有快速动态频率响应特性。传统测试方法的热流源频率调制方式粗略，热流上限低，无法满足未来高速热流传感器的测试要求。辐射热流测试系统以高功率半导体激光器作为热流源，通过电压控制模块调制激光器输出频率，系统响应时间可达微秒(μs)级，可以产生50 MW/m

的热流信号。通过Z-t变换求得传感器脉冲响应的时间常数τ

获得频率响应理论值723 Hz;通过快速傅里叶变换(FFT)求得无量纲频率响应曲线，测得频率响应约为510 Hz

完成薄膜热电堆热流传感器动态频率响应测试，并分析传感器动态性能和综合评价测试平台。

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