中国电子科技集团公司第四十九研究所 2. 中国航发控制系统研究所
纸质出版:2022
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周志炜, 邓天雨, 师亮, 等. 压阻式压力传感器的温度补偿及现场校准方法[J]. 传感器与微系统, 2022,(10):145-148.
压阻式压力传感器的温度补偿及现场校准方法[J]. 2022, (10): 145-148.
周志炜, 邓天雨, 师亮, 等. 压阻式压力传感器的温度补偿及现场校准方法[J]. 传感器与微系统, 2022,(10):145-148. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)10-0145-04.
压阻式压力传感器的温度补偿及现场校准方法[J]. 2022, (10): 145-148. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)10-0145-04.
针对硅压阻式压力传感器受到外界环境的影响,其灵敏度、分辨率、动态范围、工作直线等关键技术指标会发生改变。本文提出一种现场在线式校准方法,通过建立压力,温度误差数学模型和采用数字滤波及曲线拟合温度补偿技术,对传感器信号的误差进行补偿。使变送器在-20~80℃温度区间内,输出精度达到±0.1%FS。该校准方法和电路可规范化,工程应用背景广泛。
基于LabVIEW的多通道压力传感器实时动态检测系统设计 [J]. 赵佳龙,岳宏,夏航,丁钟凯,唐胜武. 传感器与微系统 . 2022(07)
一元线性回归分析方法在压力传感器数据拟合中的应用 [J]. 李久龙,李玲,刘瑞敏,孙旭,薛炜,许腾,杨懿. 计测技术 . 2022(02)
宽温区高精度压力传感器补偿方法研究 [J]. 周蒙,何峰,张龙赐,金忠. 自动化与仪表 . 2022(04)
谐振式压力传感器自激驱动及非线性特性研究 [J]. 周孝,刘兴宇,丁徐锴,李宏生. 传感器与微系统 . 2021(08)
硅(100)晶面各向异性腐蚀的凸角补偿方法 [J]. 郭玉刚,吴佐飞,田雷. 传感器与微系统 . 2019(03)
硅压阻式压力传感器误差修正算法的FPGA实现 [J]. 华振宇,徐大诚. 传感器与微系统 . 2017(02)
基于三次样条插值的硅压阻式压力传感器的温度补偿 [J]. 王冰冰,李淮江. 传感技术学报 . 2015(07)
MEMS传感器现状及应用 [J]. 王淑华. 微纳电子技术 . 2011(08)
扩散硅压力变送器的曲面拟合补偿 [J]. 曾明如,刘亮,钱信,游文堂. 南昌大学学报(理科版) . 2011(01)
基于三次B样条插值的压力传感器温度补偿 [J]. 王丕涛,翟殿棠,成谢锋. 信息技术与信息化 . 2007(03)
硅压阻式传感器的温度特性及其补偿 [J]. 樊尚春,彭春荣. 微纳电子技术 . 2003(Z1)
硅压阻压力传感器的近况和应用 [J]. 梁增寿. 压电与声光 . 1983(01)
硅压阻式压力传感器高精度温度补偿技术研究 [D]. 欧阳承曦. 电子科技大学 2015
压阻式压力传感器温度补偿方法研究 [D]. 孙艳梅. 齐齐哈尔大学 2012
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