基于电桥式氢气敏感探头的温控系统设计

刘卓元; 宋旭彤; 孙云娜; 丁桂甫

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)10-0067-04

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基于电桥式氢气敏感探头的温控系统设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于电桥式氢气敏感探头的温控系统设计
- 基于电桥式氢气敏感探头的温控系统设计
- 传感器与微系统 2022年第10期页码：67-70
- 作者机构：
  
  上海交通大学微米/纳米加工技术重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)10-0067-04
  中图分类号： TP212;TP273
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
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刘卓元, 宋旭彤, 孙云娜, 等. 基于电桥式氢气敏感探头的温控系统设计[J]. 传感器与微系统, 2022,(10):67-70.

基于电桥式氢气敏感探头的温控系统设计[J]. 2022, (10): 67-70.
刘卓元, 宋旭彤, 孙云娜, 等. 基于电桥式氢气敏感探头的温控系统设计[J]. 传感器与微系统, 2022,(10):67-70. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)10-0067-04.

基于电桥式氢气敏感探头的温控系统设计[J]. 2022, (10): 67-70. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)10-0067-04.

摘要

基于自主发明的升温模式工作氢气敏感探头，开发了具有实时反馈温度控制、桥式数据处理和显示功能的高选择性氢气传感器微系统。控制与读出系统基于STM32F103C8T6硬件平台搭建，围绕桥式测量需要设计了外围电路，开发了双路比例-积分-微分（PID）温度控制算法，集成了兼具温度检测和加热两种功能的薄膜铂（Pt）电阻，能够使探头工作温度保持在最佳温度范围内。系统上电后响应迅速，读出误差小且信号稳定。

Abstract

关键词

Keywords

references

MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究 [J]. 侯晓伟,刘莉娜,吕阳,郑良广,张丛春. 传感技术学报 . 2020(06)

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