本文综合运用有限元仿真和实验相结合的方法，研究分析了氮化铝兰姆(Lamb)波谐振器的支撑轴区域声反射结构对串联谐振品质因数(Q

s

)的影响。对于频率约1.56 GHz的Lamb波谐振器，窄支撑和全支撑锚点结构的Q

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值基本相当；设置圆弧形和斜边形的声反射结构可减小支撑轴区域的位移幅值，进而降低锚点损耗；设置弧形沟槽有助于将声能限制在谐振腔区域，进而提升Q

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值；在衬底与支撑轴相邻区域沉积金属铝，可增加衬底与支撑轴的声阻抗失配程度，有利于声波反射回谐振腔。此外，基于6 in(1 in=2.54 cm)氮化铝工艺平台，成功制备了本文所设计的器件，且测试结果与模拟结果基本吻合，采用上述几种声反射结构均可提升Q

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值，其中斜边形反射结构对Q

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值的提升最为显著，Q

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值从2 232.1提高到3 256.5。