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氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究
研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

    • 氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2022年第9期 页码：4-7+15

    • DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)09-0004-04    

      中图分类号： TB383.2

    • 纸质出版：2022

    移动端阅览

  • 尚璐瑶, 杨晓峰. 氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(9):4-7+15. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)09-0004-04.

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