工业和信息化部第四电子研究院 2. 北京航空航天大学 3. 山东省东仪光电有限公司 4. 中国电子科技集团公司第三研究所
纸质出版:2022
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丁然, 唐洁, 赵珍阳, 等. MEMS水听器国内研究现状与未来技术发展[J]. 传感器与微系统, 2022,(8):157-160.
MEMS水听器国内研究现状与未来技术发展[J]. 2022, (8): 157-160.
丁然, 唐洁, 赵珍阳, 等. MEMS水听器国内研究现状与未来技术发展[J]. 传感器与微系统, 2022,(8):157-160. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)08-0157-04.
MEMS水听器国内研究现状与未来技术发展[J]. 2022, (8): 157-160. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)08-0157-04.
综述了微机电系统(MEMS)水听器近15年在国内的发展情况。在MEMS水听器的技术发展过程中,从压阻式、压电式、电容式、纤毛式等结构到基于新一代半导体氮化镓材料的MEMS水听器,MEMS水听器的发展不仅从单一化走向阵列化,而且未来的水听器走向更适合批量制造。针对国家海洋战略,未来批量制造的MEMS水听器,在封装和标定技术方面,提出了几个值得注意的技术问题。
综述了微机电系统(MEMS)水听器近15年在国内的发展情况。在MEMS水听器的技术发展过程中,从压阻式、压电式、电容式、纤毛式等结构到基于新一代半导体氮化镓材料的MEMS水听器,MEMS水听器的发展不仅从单一化走向阵列化,而且未来的水听器走向更适合批量制造。针对国家海洋战略,未来批量制造的MEMS水听器,在封装和标定技术方面,提出了几个值得注意的技术问题。
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