TiO<sub>2</sub>/PI复合薄膜对湿度传感器性能的影响

黄宜明; 丁书聪; 梁峻阁; 顾晓峰

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)08-0049-04

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TiO₂/PI复合薄膜对湿度传感器性能的影响

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- TiO₂/PI复合薄膜对湿度传感器性能的影响
- TiO₂/PI复合薄膜对湿度传感器性能的影响
- 传感器与微系统 2022年第8期页码：49-52
- 作者机构：
  
  物联网技术应用教育部工程研究中心江南大学电子工程系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)08-0049-04
  中图分类号： TB383.2;TP212
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
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黄宜明, 丁书聪, 梁峻阁, 等. TiO₂/PI复合薄膜对湿度传感器性能的影响[J]. 传感器与微系统, 2022,(8):49-52.

TiO₂/PI复合薄膜对湿度传感器性能的影响[J]. 2022, (8): 49-52.
黄宜明, 丁书聪, 梁峻阁, 等. TiO₂/PI复合薄膜对湿度传感器性能的影响[J]. 传感器与微系统, 2022,(8):49-52. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)08-0049-04.

TiO₂/PI复合薄膜对湿度传感器性能的影响[J]. 2022, (8): 49-52. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)08-0049-04.

摘要

基于二氧化钛/聚酰亚胺（TiO

/PI）复合感湿材料，设计并制备了一种叉指结构电容式湿度传感器。为了提高传感器的灵敏度，缩短响应时间，对复合薄膜中TiO

的含量及复合薄膜的厚度进行了研究和优化。实验结果表明：与未引入TiO

的PI湿度传感器相比，TiO

质量分数为5%的湿度传感器灵敏度提高了97%

且线性度良好（R~2=0.991）;针对叉指结构设计合理的复合薄膜厚度，能将传感器的响应时间和恢复时间分别显著缩短至33 s和38 s。该研究可为电容式湿度传感器的湿敏薄膜材料配制和厚度优化提供有益的参考。

Abstract

基于二氧化钛/聚酰亚胺（TiO

/PI）复合感湿材料，设计并制备了一种叉指结构电容式湿度传感器。为了提高传感器的灵敏度，缩短响应时间，对复合薄膜中TiO

的含量及复合薄膜的厚度进行了研究和优化。实验结果表明：与未引入TiO

的PI湿度传感器相比，TiO

质量分数为5%的湿度传感器灵敏度提高了97%

关键词

Keywords

references

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