中国电子科技集团公司第四十九研究所
纸质出版:2022
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王大兴, 姜晓龙, 杨永超, 等. 宽温区高精度铂薄膜热敏电阻器研制[J]. 传感器与微系统, 2022,(7):81-84.
宽温区高精度铂薄膜热敏电阻器研制[J]. 2022, (7): 81-84.
王大兴, 姜晓龙, 杨永超, 等. 宽温区高精度铂薄膜热敏电阻器研制[J]. 传感器与微系统, 2022,(7):81-84. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)07-0081-04.
宽温区高精度铂薄膜热敏电阻器研制[J]. 2022, (7): 81-84. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)07-0081-04.
针对现有产品测温范围窄、允差等级低的问题,设计一种高精度宽温区铂薄膜热敏电阻器,开展高稳定铂膜制备和高精度阻值修调技术研究,提升温度系数和阻值精度参数指标,优选高温防护玻璃包封材料,拓宽产品测温范围。测试结果表明:产品测温范围覆盖-80~600℃
允差等级在-55~300℃温区内符合IEC60751规定1/3B级,其余温区符合IEC60751规定B级要求,温度系数为(3 851±4)×10
-6
/℃
性能指标优于国际标准,可广泛用于航空、航天领域高可靠温度测量。
针对现有产品测温范围窄、允差等级低的问题,设计一种高精度宽温区铂薄膜热敏电阻器,开展高稳定铂膜制备和高精度阻值修调技术研究,提升温度系数和阻值精度参数指标,优选高温防护玻璃包封材料,拓宽产品测温范围。测试结果表明:产品测温范围覆盖-80~600℃
允差等级在-55~300℃温区内符合IEC60751规定1/3B级,其余温区符合IEC60751规定B级要求,温度系数为(3 851±4)×10
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性能指标优于国际标准,可广泛用于航空、航天领域高可靠温度测量。
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退火工艺对薄膜型铂电阻热阻特性的影响探究 [J]. 王金鹏,周晨飞,梁军生,王大志,任同群. 机电工程技术 . 2019(08)
基于铂热电阻的高温检测系统设计与优化 [J]. 霍钰,王功. 传感器与微系统 . 2019(04)
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含氧气氛直流磁控溅射薄膜铂电阻制备及性能研究 [J]. 林锋,于月光,李世晨,曾克里,任先京,贾贤赏. 金属功能材料 . 2006(02)
激光调阻的阻值关系研究及其控制策略分析 [D]. 王志娟. 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2005
薄膜技术与薄膜材料[M]. 清华大学出版社 , 田民波编著, 2006
One-step synthesis of Ni-Mn-Al-O thin film on Al 2 O 3 substrate via hydrothermal method [J] . Sen Liang,Changgong Cao,Haibo Li,Min Luo,Mangmang Gao,Xiaogan Qin. Microelectronic Engineering . 2017
Effects of high voltage pulse trimming on structural properties of thick-film resistors [J] . Stanimirovi? Zdravko,Stanimirovi? Ivanka. Science of Sintering . 2017 (1)
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