中国电子科技集团公司第四十九研究所
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尹春岳, 周明军, 文吉延, 等. 绝缘层烧结收缩率对氧传感器输出特性的影响[J]. 传感器与微系统, 2022,(7):48-51.
绝缘层烧结收缩率对氧传感器输出特性的影响[J]. 2022, (7): 48-51.
尹春岳, 周明军, 文吉延, 等. 绝缘层烧结收缩率对氧传感器输出特性的影响[J]. 传感器与微系统, 2022,(7):48-51. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)07-0048-04.
绝缘层烧结收缩率对氧传感器输出特性的影响[J]. 2022, (7): 48-51. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)07-0048-04.
极限电流型氧传感器芯体由绝缘层材料、支撑层材料及敏感层材料共烧结制备而成,在芯体的烧结过程中,材料烧结收缩率不一致产生的内部应力会导致孔结构的变形开裂,从而严重影响极限电流氧传感器的输出特性。针对这一问题,采用5种具有不同烧结收缩率的绝缘层材料,经过厚膜丝网印刷、叠片热压、多层共烧制备了极限电流氧传感器,并对氧传感器芯体孔结构形貌与输出特性的关系进行分析。结果显示,绝缘层材料的烧结收缩率与支撑层烧结收缩率差值为2.43%
与敏感层的烧结收缩率差值为3.97%
极限电流氧传感器芯体孔结构处分层开裂现象消失,芯体在氧气(O
2
)体积分数为20%的气氛下具有良好的电流平台,在0.5~1.6 V工作电压范围之间,电流变化为0.135μA。
极限电流型氧传感器芯体由绝缘层材料、支撑层材料及敏感层材料共烧结制备而成,在芯体的烧结过程中,材料烧结收缩率不一致产生的内部应力会导致孔结构的变形开裂,从而严重影响极限电流氧传感器的输出特性。针对这一问题,采用5种具有不同烧结收缩率的绝缘层材料,经过厚膜丝网印刷、叠片热压、多层共烧制备了极限电流氧传感器,并对氧传感器芯体孔结构形貌与输出特性的关系进行分析。结果显示,绝缘层材料的烧结收缩率与支撑层烧结收缩率差值为2.43%
与敏感层的烧结收缩率差值为3.97%
极限电流氧传感器芯体孔结构处分层开裂现象消失,芯体在氧气(O
2
)体积分数为20%的气氛下具有良好的电流平台,在0.5~1.6 V工作电压范围之间,电流变化为0.135μA。
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