W波段直板型电容式MEMS开关设计

曹钎龙; 吴倩楠; 韩路路; 王宇; 李孟委

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)06-0074-04

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W波段直板型电容式MEMS开关设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- W波段直板型电容式MEMS开关设计
- W波段直板型电容式MEMS开关设计
- 传感器与微系统 2022年第6期页码：74-77
- 作者机构：
  
  中北大学南通智能光机电研究院 2. 中北大学仪器与电子学院 3. 中北大学前沿交叉科学研究院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)06-0074-04
  中图分类号： TM564
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
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曹钎龙, 吴倩楠, 韩路路, 等. W波段直板型电容式MEMS开关设计[J]. 传感器与微系统, 2022,(6):74-77.

W波段直板型电容式MEMS开关设计[J]. 2022, (6): 74-77.
曹钎龙, 吴倩楠, 韩路路, 等. W波段直板型电容式MEMS开关设计[J]. 传感器与微系统, 2022,(6):74-77. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)06-0074-04.

W波段直板型电容式MEMS开关设计[J]. 2022, (6): 74-77. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)06-0074-04.

摘要

针对卫星通信、6G通信、物联网技术等射频前端系统对电子元器件高频工作性能的需求，设计了一种工作在W波段的直板型电容式射频（RF）单刀双掷开关。通过优化介电层材料和开关电极之间的空气间隙，降低了插入损耗、提高了隔离度等射频性能指标。利用HFSS电磁仿真软件对开关性能进行了数值模拟计算，仿真结果表明：所设计射频单刀双掷MEMS开关在80～100 GHz范围内，其插入损耗小于1.7 dB

隔离度大于40 dB

开关整体尺寸约为1.6 mm×1.6 mm。此开关能够满足射频系统前端对高频电子元器件的性能需求，在微波测试仪器、新一代通信系统中具有一定的应用价值。

Abstract

隔离度大于40 dB

开关整体尺寸约为1.6 mm×1.6 mm。此开关能够满足射频系统前端对高频电子元器件的性能需求，在微波测试仪器、新一代通信系统中具有一定的应用价值。

关键词

Keywords

references

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