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纸质出版:2022
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饶成明, 杜伟略, 蒋松昊. 新型MEMS压力传感器的设计与制造[J]. 传感器与微系统, 2022,(6):70-73+77.
新型MEMS压力传感器的设计与制造[J]. 2022, (6): 70-73+77.
饶成明, 杜伟略, 蒋松昊. 新型MEMS压力传感器的设计与制造[J]. 传感器与微系统, 2022,(6):70-73+77. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)06-0070-04.
新型MEMS压力传感器的设计与制造[J]. 2022, (6): 70-73+77. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)06-0070-04.
对柔性压力传感器进行了设计和研究,总体结构为三明治结构:由于介质层的结构比较特殊,选择了复眼微结构的设计方式,电极层在改性后的PDMS表面溅射一层金属银。将制备的三层结构通过键合的方式组成响应速度和灵敏度均较高的传感器。通过对传感器进行的测试实验可得:当传感器表面压力一定时,复眼结构的电容式压力传感器的灵敏度达到了0.28 kPa
-1
响应时间和恢复时间分别为58 ms和43 ms
表明制造的传感器具有较快的响应速度。经1 600次的撞击试验,传感器仍保持稳定输出。制备的传感器具有较强的响应特性、良好的恢复性和稳定性,能够适应柔性可穿戴电子器件的应用需求。
对柔性压力传感器进行了设计和研究,总体结构为三明治结构:由于介质层的结构比较特殊,选择了复眼微结构的设计方式,电极层在改性后的PDMS表面溅射一层金属银。将制备的三层结构通过键合的方式组成响应速度和灵敏度均较高的传感器。通过对传感器进行的测试实验可得:当传感器表面压力一定时,复眼结构的电容式压力传感器的灵敏度达到了0.28 kPa
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响应时间和恢复时间分别为58 ms和43 ms
表明制造的传感器具有较快的响应速度。经1 600次的撞击试验,传感器仍保持稳定输出。制备的传感器具有较强的响应特性、良好的恢复性和稳定性,能够适应柔性可穿戴电子器件的应用需求。
高性能碳化棉纤维柔性压力传感器制备与应用 [J]. 刘智勇,邓惠丹,熊美明,廖广兰. 华中科技大学学报(自然科学版) . 2022(03)
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基于微结构的柔性电容式压力传感器设计与仿真研究 [J]. 侯丽娟,秦会斌,胡炜薇. 传感器与微系统 . 2021(12)
基于微结构提升柔性电容式压力传感器灵敏度的研究现状 [J]. 周帅,刘茜. 微纳电子技术 . 2021(12)
柔性阵列式压力传感器的制备研究 [J]. 刘双斌,秦会斌. 传感器与微系统 . 2021(09)
高性能电阻型柔性压力传感器研究进展 [J]. 白成,耿达,周伟,陈松月. 微纳电子技术 . 2021(07)
多重响应柔性电子皮肤的研制 [D]. 刘雨晴. 吉林大学 2020
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Highly sensitive piezo-resistive graphite nanoplatelet-carbon nanotube hybrids/polydimethylsilicone composites with improved conductive network construction. [J] . Zhao Hang,Bai Jinbo. ACS applied materials & interfaces . 2015 (18)
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