内蒙古工业大学电力学院 2. 上海交通大学电子信息与电气工程学院
纸质出版:2022
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赵乐, 贾雅君, 江俊杰, 等. MEMS光纤温度氢气传感器在油状态监测中的应用研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(6):52-55+60.
MEMS光纤温度氢气传感器在油状态监测中的应用研究[J]. 2022, (6): 52-55+60.
赵乐, 贾雅君, 江俊杰, 等. MEMS光纤温度氢气传感器在油状态监测中的应用研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(6):52-55+60. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)06-0052-04.
MEMS光纤温度氢气传感器在油状态监测中的应用研究[J]. 2022, (6): 52-55+60. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)06-0052-04.
通过将微机电系统(MEMS)加工技术与光纤传感器技术相结合的方法,将温度感知模块和氢气感知模块集成在温度氢气MEMS光纤复合传感器内部,并在25号绝缘油中完成油温和油中溶解氢气的可行性验证实验。实验结果表明:温度感知模块在35~85℃的绝缘油温度范围内有良好的线性度,其灵敏度为14.5 pm/℃;氢气感知模块对油中溶解氢气有较强的响应,且完成氢气体积分数测量后,光谱峰值可恢复至初始状态。验证了该复合传感器在油中气体检测应用的可行性。
通过将微机电系统(MEMS)加工技术与光纤传感器技术相结合的方法,将温度感知模块和氢气感知模块集成在温度氢气MEMS光纤复合传感器内部,并在25号绝缘油中完成油温和油中溶解氢气的可行性验证实验。实验结果表明:温度感知模块在35~85℃的绝缘油温度范围内有良好的线性度,其灵敏度为14.5 pm/℃;氢气感知模块对油中溶解氢气有较强的响应,且完成氢气体积分数测量后,光谱峰值可恢复至初始状态。验证了该复合传感器在油中气体检测应用的可行性。
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