基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究

张婷; 杨波

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)05-0044-04

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基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究
- 基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究
- 传感器与微系统 2022年第5期页码：44-47+52
- 作者机构：
  
  东南大学仪器科学与工程学院 2. 东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)05-0044-04
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
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张婷, 杨波. 基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(5):44-47+52.

基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究[J]. 2022, (5): 44-47+52.
张婷, 杨波. 基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(5):44-47+52. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)05-0044-04.

基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究[J]. 2022, (5): 44-47+52. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)05-0044-04.

摘要

将微纳半球谐振腔与微机械加速度计结构相结合，设计了一种基于半球谐振腔的微光学加速度计。首先分析了微光学加速度计的基本工作原理，接着分析了反射膜和增透膜材料对微纳腔影响规律，并利用时域有限差分（FDTD）光学仿真软件进行仿真测试，研究了不同膜厚对谐振腔谐振效果的影响。最后基于光强解调原理，利用仿真软件得到光强信号与变化腔长的关系，实现了对输出光强信号的解调，从仿真角度验证了本方案的可行性。

Abstract

关键词

Keywords

references

激光干涉引力波探测器——人类的宇宙助听器 [J]. 冯衍. 物理 . 2016(05)

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光纤Fabry-Perot位移传感器的研究 [D]. 肖熙. 电子科技大学 2008

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